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设备故障分析为什么要选择MEMS传感器

日期:2022-12-12

  上海辉泰在为客户提供预测性维护服务是需要在目标设备上安装传感器,获取设备的温振数据以判断设备的运行状况和健康状态,并进行监测、诊断和故障预测。WitExpert采用的是Witium自主研发的MEMS三轴温振传感器,它同传统压电式传感器相比优势是非常明显的。

  第一点,MEMS传感器是数字量输出,和压电式传感器不同,压电式传感器是模拟量输出,采集到数据后还需要进行转化。MEMS振动与压电式振动对比,其更小的尺寸和更高的集成性更契合现在状态监测发展的趋势。

  第二点,因为MEMS是偏向于内置机械,所以它有个特别明显的优势在于对温度的敏感性较低,压电式传感器则受温度的影响比较大。在需要高带宽和低噪声的检测中,两种传感其实都具有满足条件的带宽和低噪声,但MEMS加速度计能够提供直流响应,这是压电式加速度计不具备的,直流响应可以在非常低的转速下检测电机不平衡和倾斜。

  第三点。MEMS传感器能检测近乎直流范围的极低频率振动,在超低频超低转速方面是非常有优势的。另外,更高的分辨率、出色的漂移特性和灵敏度都是它相比压电式传感能力更突出的地方。

  第四点。MEMS传感器具有自检的功能,不需要每年去校准,但是压电式传感器,它是需要每年校准的,很不方便。

  第五点,由于MEMS传感器具有普通传感器无法企及的IC硅片加工批量化生产带来的成本优势,所以它的性价比远高于传统压电式传感器。以单个 5mm*5mm 尺寸的 MEMS 传感器为例, 用硅微加工工艺在一片 8 英寸的硅片晶元上可同时切割出大约 1000 个 MEMS 芯片, 批量生产可大大降低单个 MEMS 的生产成本。

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