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MEMS振动传感器技术应用分享

日期:2023-01-13

  Witium团队推出的设备预测性维护解决方案中,温振一体传感器和边缘计算网关是非常重要的硬件组成部分。其中,精密小体积的WTS系列传感器不同于传统压电式传感器,采用的是MEMS技术,那么MEMS技术指的是什么呢?

  MEMS微机电系统(MicroElectroMechanicalSystem),是集多个微机构、微传感器 、微执行器 、信号处理 、控制电路、通信接口及电源于一体的微型电子机械系统。

  传统的传感器件因其制作工艺与半导体 IC工艺不兼容,所以无论在性能、尺寸和成本上都不能与通过IC 技术制作的高速度、高密度、小体积和低成本的信号处理器件相适应,于是制约了整个系统的集成化、批量化和性能的充分发挥。

MEMS振动传感器

  微型传感器不是传统传感器简单的物理缩小的产物,而是以新的工作机制和物化效应,使用标准半导体工艺兼容的材料,通过MEMS 加工技术制备的新一代传感器件,具有小型化、集成化的特点:

  1、微型化MEMS振动传感器器件体积小、重量轻、耗能低、惯性小、谐振频率高、响应时间短。

  2、性能提高:可以极大地提高传感器性能。在信号传输前就可放大信号,从而减少干扰和传输噪音,提高信噪比;在芯片上集成反馈线路和补偿线路,可改善输出的线性度和频响特性,降低误差,提高灵敏度。

  3、阵列性:可以在一块芯片上集成敏感元件、放大电路和补偿线路。可以把多个相同的敏感元件集成在同一芯片上。

  4、兼容性:便于与微电子器件集成与封装。

  5、以硅为主要材料:机械电器性能优良:硅的强度、硬度和杨氏模量与铁相当,密度类似铝,热传导率接近钼和钨

  结合MEMS技术的优点,上海辉泰的传感器具有超强的性能、实力强硬,方正小体积能够适应客户现场各种狭窄、恶劣的安装环境。且支持三轴传感,还能采集设备表面温度和振动数据,为后面WitExpert故障诊断工具对设备数据进行机理模型+数理驱动的分析提供了非常大的支持,帮助企业降低运维成本,让智能运维更简单、更高效!

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